1858'de Fransız doktor Sales-Girons, havanın ve nebülize ilacın içeriye girmesini sağlayan valfli kauçuktan ilk inhaleri tasarladı. Daha sonra 1864'te Arthur Sansom buhar yerine eter içeren bir cihaz kullandı. Sonunda, 1874'te Fransız Doktor Charlse Pravaz, ilk ölçülü doz inhalatörünü icat etti.