Örneğin, Frenkel kusurları durumunda, iyonların bir kısmı normal kafes bölgelerini terk eder ve ara yer pozisyonlarını işgal ederek hem boşluklar hem de ara yer oluşturur. Bu kusurlar malzemenin kendisine özgüdür ve yabancı maddelerin veya dış faktörlerin varlığını gerektirmez.
Benzer şekilde Schottky kusurları, bileşiğin genel stokiyometrisini koruyan düzenli kafes bölgelerinde bir çift iyonun bulunmamasını içerir. Bu boşluklar kristal kafesin oluşumu sırasında doğal olarak meydana gelebilir ve yabancı türlerin girişini gerektirmez.
Bu nedenle, Frenkel ve Schottky kusurları gibi stokiyometrik kusurlar, malzemenin kristal yapısının kendine özgü özelliklerinden kaynaklandıkları ve dış safsızlıklar içermedikleri için içsel kusurlar olarak anılır.