ilk elektron mikroskobu , bir transmisyon elektron mikroskobu ,Alman mühendis Max Knoll ve 1931 yılında Ernst Ruska tarafından inşa edilmiştir .Özgün prototip mevcut ışık mikroskopları , Knoll daha düşük bir büyütme elde rağmen ve Ruska başarıylatasarım mümkün olduğunu kanıtladı ve iki yıl sonra büyütme gücüışık mikroskobu aştı . Elektron mikroskobu tüm sonraki yineleme bu özgün prototip dayanmaktadır .
Transmisyon Elektron Mikroskobu ( TEM )
Transmisyon Elektron mikroskopları ondan sonraelektron ışını kaydederek görüntüler üretmek numune bir ince dilim geçti. Numune , bir bakır tel ızgara üzerine yerleştirilmiş ve normal olarak bir tungsten teli üzerinden yüksek gerilim çalıştırarak üretilen bir elektron ışını, tabi tutulur. Elektron ışını , bir yoğunlaştırıcı lens üzerinden geçecekörnek grev ve fosfor ekrana toplanarak önce nesnel ve yansıtmalı lensler ile devam ediyor. Elektron mikroskobu , her türlü olduğu gibi, hedef numune istenmeyen elektron saçılması neden olabilir su buharı kirlenmesini önlemek için bir vakum içinde susuz ve izole edilmelidir. Dardı tüm elektron mikroskobuyüksek büyütme üretmek .
Taramalı Elektron Mikroskobu ( SEM )
Tarayıcı elektron mikroskopları , transmisyon elektron mikroskobu ile birlikte ,çoğu yaygın olarak kullanılmaktadır. Dardı aksine , taramalı elektron mikroskobu, bir numuneninyüzeyi kapalı çıkmaikincil veya elastik olmayan dağınık elektronları toplayarak görüntüler üretir . Birincil elektron ışını , numuneninyüzeyine çarpmadan önce birkaç yoğunlaştırıcı lensler , tarama bobin ve bir objektif lens geçer. Elektron ışınıörnek isabet ve bir ikincil elektron dedektörüdağınık elektronları toplar üzerine serpilir. Elektron veriler daha sonra alan önemli derinliği ile yüzey görüntüler üretmek için tarama - taranır .
Yansıma Elektron Mikroskobu ( REM )
Yansıma elektron mikroskopları SEM'ler çok benzer işletmek yapı bakımından . Primer elektron ışınınumune yüzeyini vurduğu sonra REMS Bununla birlikte,geri-saçılmalı elektron ya da elastik olarak dağılmış toplar. Yansıma elektron mikroskopları en sık görüntüye spin-polarize düşük enerjili elektron mikroskobu ile birleştiğinde bilgisayar devresi yapımında örnek yüzeylerinmanyetik etki imza .
Taramalı Transmisyon Elektron Mikroskobu ( STEM )
Taramalı geçirimli elektron mikroskopları , geleneksel dardı gibi , numune bir ince dilim aracılığıyla bir elektron demeti geçmektedir. Bunun yerine örnek geçtikten sonra elektron ışını odaklama , bir kök öncedenışın odaklanır ve raster tarama yoluyla bir görüntü oluşturur. Taramalı geçirimli elektron mikroskopları de böyle elektron enerji kaybı spektroskopisi ve dairesel karanlık alan mikroskobu gibi analitik haritalama teknikleri için uygundur .